1926年漢斯·布什研制了**個磁力電子透鏡。

　　1931年厄恩斯特·盧斯卡和馬克斯·克諾爾研制了**臺透視電子顯微鏡。展示這臺顯微鏡時使用的還不是透視的樣本，而是一個金屬格。1986年盧斯卡為此獲得諾貝爾物理獎。

　　1934年鋨酸被提議用來加強圖像的對比度。

　　1937年**臺掃描透射電子顯微鏡推出。一開始研制電子顯微鏡*主要的目的是顯示在光學顯微鏡中無法分辨的病原體如病毒等。

　　1938年他在西門子公司研制了**臺商業電子顯微鏡。

　　1949年可投射的金屬薄片出現后材料學對電子顯微鏡的興趣大增。

　　1960年代投射電子顯微鏡的加速電壓越來越高來透視越來越厚的物質。這 個時期電子顯微鏡達到了可以分辨原子的能力。

　　1980年代人們能夠使用掃描電子顯微鏡觀察濕樣本。

　　1990年代中電腦越來越多地用來分析電子顯微鏡的圖像，同時使用電腦也可以控制越來越復雜的透鏡系統，同時電子顯微鏡的操作越來越簡單。